2020 차세대 리소그래피 학술대회

2020 Next Generation Lithography Conference
Nov. 18~19, 2020

Online Conference

Full Program
2020 NGL Program Book
November 18, 2020 (Wed)
09:30 ~ 12:00 Short Course 1
이진균 교수(인하대)
Short Course 2
이준호 교수(공주대)
Short Course 3
서정훈 박사(ASML US)
Short Course 4
신영수 교수(KAIST)
Short Course 5
최성운 연구위원(HIMS)
12:00 ~ 13:00 Lunch
13:00 ~ 14:30 W-PM I
Patterning Material I

좌장: 이진균(인하대)
W-MI I
Metrology / Inspection I

좌장: 이병호(SK 하이닉스)
Poster
Session
14:30 ~ 14:40  
14:40 ~ 15:55 W-PM II
Patterning Material II

좌장: 김명웅(인하대)
W-MI II
Metrology / Inspection II

좌장: 박병천(KRISS)
15:55 ~ 16:05  
16:05 ~ 17:35 W-EU I
Extreme UV / Optical Lithography I

좌장: 김성수(삼성전자)
W-MI III
Metrology / Inspection III

좌장: 이준호(공주대)
November 19, 2020 (Thu)
09:30 ~ 11:50 Opening Ceremony
Plenary Talk

좌장: 이준호(공주대)
11:50 ~ 13:00 Lunch
13:00 ~ 14:30 T-NF I
Nano Fabrication for
Next Generation Optical Devices I

좌장: 김명기(고려대)
T-AL I
Alternative Lithography /
Printed Electronics I

좌장: 정연식(KAIST)
T-XR I
X-ray Source /
Instrumentation Applications

좌장: 강경태(KITECH)
Poster
Session
14:30 ~ 14:40 Break
14:40 ~ 16:10 T-NF II
Nano Fabrication for
Next Generation Optical Devices II

좌장: 김선경(경희대)
T-AL II
Alternative Lithography /
Printed Electronics II

좌장: 이대호(가천대)
T-CL I
Modeling /
Computational Lithography

좌장: 윤제범(Mentor Graphics)
16:10 ~ 16:25 Break  
16:25 ~ 17:25 T-NF III
Nano Fabrication for
Next Generation Optical Devices III

좌장: 노준석(포항공대)
 
17:25 ~ 17:50 Closing Ceremony
Best Student Paper Awards

좌장: 김성환(아주대)

Poster Sessions

PS1 : Alternative Lithography / Printed Electronics
Room poster 1, 11월 18일 09:00 - 11월 19일 18:00

PS1-1

나노패턴의 연속적 형성을 위한 틸트나노각인 및 피에조 진동압입 공정개발

한인희, 손현지, 이우승, 박종갑, 김광준, 김민욱, 박재원, 김민규, 연규범, *옥종걸(서울과학기술대학교)

PS2 : Modeling / Computational Lithography
Room poster 1, 11월 18일 09:00 - 11월 19일 18:00

PS2-1

Pattern quality enhancement in digital maskless lithography by DMD modulation

이창민, 고윤혁, *한재원(연세대학교)

PS3 : Extreme UV / Optical Lithography
Room poster 1, 11월 18일 09:00 - 11월 19일 18:00

PS3-1

열적, 광학적 특성을 고려한 다양한 구조의 EUV 리소그래피용 pellicle 의 수명 예측

반충현(한양대학원), 강인화, 최원영(한양대학교ERICA), *오혜근(한양대학교)

PS3-2

High NA에서 흡수체와 다층박막에 따른 최적의 극자외선 마스크 구조와 이미지 특성 비교

*강인화(한양대학교 대학원), 박장군, 전범준, *오혜근(한양대학교 ERICA)

PS3-3

네거티브 톤 전자빔 레지스트에 기반한 근자외선 레이저 리소그래피

김환식, 손병희, 김영철, *안영환(아주대학교)

PS4 : Metrology / Inspection
Room poster 1, 11월 18일 09:00 - 11월 19일 18:00

PS4-1

유연 대처 패턴 조사 현미경을 이용한 3차원 형상 측정 기술

정효빈, *주기남(조선대학교)

PS4-2

광학계 측정을 위한 단일 영상 편광 분산 간섭계 Single shot polarized spectrally-resolved interferometry for optical testing

박효미, *주기남(조선대학교)

PS4-3

단일 영상 분광 타원계측기 기반 다층 박막 분석 기술 연구

권의혁, 김진섭, *주기남(조선대학교)

PS4-4

Calibration of spot array inspection system of digital maskless lithography with spatially variant deconvolution 

고윤혁, 이창민, *한재원(연세대학교)

PS4-5

대형 평면 반사경 측정을 위한 이중 정합 측정법

김고은(과학기술연합대학원대학교), *양호순(한국표준과학연구원)

PS4-6

다층 기판의 전체 두께 측정을 위한 광간섭계 개발

배재석(과학기술연합대학원대학교), 박정재, *진종한(한국표준과학연구원)

PS4-7

미세 패턴의 정밀 삼차원 측정을 위한 광학 측정법 개발

안흘비(과학기술연합대학원대학교), 박정재, *진종한(한국표준과학연구원)

PS4-8

일체형 편광간섭모듈 기반 실시간 분광타원편광계의 calibration 방법 연구

최석현(전북대학교/한국표준과학연구원), *김대석(전북대학교), 조용재, 제갈원(한국표준과학연구원)

PS4-9

멀티 전자빔 시스템을 위한 웨이퍼 스케일 초소형 전자칼럼의 디플렉터 설계 연구

이영복, 김형우, 김대욱, 안승준, 오태식, *김호섭(선문대학교)

PS4-10

Optimal grid pattern design required for 3D profile measurement using HiLo microscopy

류인건, 김혜상, *김대근(단국대학교)

PS4-11

SEM을 이용한 그래핀/MoS2 박막의 두께 측정연구

*박병천(한국표준과학연구원), Rakesh Sadanand Sharbidre(Korea Research Institute of Standards and Science), 홍성구(한국표준과학연구원)

PS5 : Lasers for Lithography
Room poster 1, 11월 18일 09:00 - 11월 19일 18:00

PS5-1

나노초 레이저 간섭 리소그래피를 위한 Yb:YAG 레이저의 펄스 출력 안정화

박영인, 장정현, 김성수, 장명재, 박성태, *김현수(조선대학교)

PS5-2

마이크로/나노 구조 제조용 극초단 레이저 발진기의 모드 잠금 안정화 영역에 관한 연구 

장정현, 박영인, 김성수, 장명재, 박성태, *김현수(조선대학교)

PS5-3

3D 마이크로구조 제작용 나노초 Yb:YAG 펄스 레이저 출력 최적화 연구

김성수, 박영인, 장정현, 장명재, 박성태, *김현수(조선대학교)

PS6 : Nano Fabrication for Next Generation Optical Devices
Room poster 1, 11월 18일 09:00 - 11월 19일 18:00

PS6-1

Mirco-patterend color conversion layer arrays for full color micro LED display 

김은진, 김원희, *권민기(조선대학교)

PS6-2

Controlled growth of large-area and high-quality molybdenum disulfide

오광근, 홍광식, *권민기(조선대학교)

PS7 : X-ray Source / Instrumentation Applications
Room poster 1, 11월 18일 09:00 - 11월 19일 18:00

PS7-1

CNT emitter의 전기적 특성 개선

윤효은, *안승준(선문대학교), 송윤호, 강준태(한국전자통신연구원), 김호섭(선문대학교)

PS8 : Sensors
Room poster 1, 11월 18일 09:00 - 11월 19일 18:00

PS8-1

전력 인슐레이터 결함 모니터링을 위한 광섬유 센서 연구

박수정, 문종주, 고영민, *안태정(조선대학교)

PS9 : Applied and Emerging Topics
Room poster 1, 11월 18일 09:00 - 11월 19일 18:00

PS9-1

Ion-beam implantation for fabrication of thin radar stealth devices embedded in a dielectric surface

심현보(연세대학교), 조원제(한국원자력연구원), *한재원(연세대학교)

PS10 : Bio / 3D Fabrication
Room poster 1, 11월 18일 09:00 - 11월 19일 18:00

PS10-1

Advanced optical 3D nanolithography for top-down fabrication of functional porous microparticles

Jinseong Ahn, Junyong Ahn, Byeongyun Oh, Seohan Yoon, *Junyong Park(Kumoh National Institute of Technology)