2020 차세대 리소그래피 학술대회

2020 Next Generation Lithography Conference
Nov. 18~19, 2020

Online Conference

Full Program
11월 18일 (수요일)
W-PM I Patterning Material I

좌장 : 이진균(인하대학교) 13:00-14:30
W-MI I Metrology / Inspection I

좌장 : 이병호(SK 하이닉스) 13:00-14:15
W-PM II Patterning Material II

좌장 : 김명웅(인하대학교) 14:40-15:55
W-MI II Metrology / Inspection II

좌장 : 박병천(KRISS) 14:40-15:55
W-EU I Extreme UV / Optical Lithography I

좌장 : 현윤석(ASML) 16:05-17:35
W-MI III Metrology / Inspection III

좌장 : 이준호(공주대학교) 16:05-17:20