2020 Â÷¼¼´ë ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ Çмú´ëȸ

2020 Next Generation Lithography Conference
Nov. 18~19, 2020

Online Conference

Full Program
PS5
Lasers for Lithography
PS5-1
20
³ª³ëÃÊ ·¹ÀÌÀú °£¼· ¸®¼Ò±×·¡ÇǸ¦ À§ÇÑ Yb:YAG ·¹ÀÌÀúÀÇ ÆÞ½º Ãâ·Â ¾ÈÁ¤È­
¹Ú¿µÀÎ, ÀåÁ¤Çö, ±è¼º¼ö, Àå¸íÀç, ¹Ú¼ºÅÂ, ±èÇö¼ö(Á¶¼±´ëÇб³)
PS5-2
18
¸¶ÀÌÅ©·Î/³ª³ë ±¸Á¶ Á¦Á¶¿ë ±ØÃÊ´Ü ·¹ÀÌÀú ¹ßÁø±âÀÇ ¸ðµå Àá±Ý ¾ÈÁ¤È­ ¿µ¿ª¿¡ °üÇÑ ¿¬±¸ 
ÀåÁ¤Çö, ¹Ú¿µÀÎ, ±è¼º¼ö, Àå¸íÀç, ¹Ú¼ºÅÂ, ±èÇö¼ö(Á¶¼±´ëÇб³)
PS5-3
18
3D ¸¶ÀÌÅ©·Î±¸Á¶ Á¦ÀÛ¿ë ³ª³ëÃÊ Yb:YAG ÆÞ½º ·¹ÀÌÀú Ãâ·Â ÃÖÀûÈ­ ¿¬±¸
±è¼º¼ö, ¹Ú¿µÀÎ, ÀåÁ¤Çö, Àå¸íÀç, ¹Ú¼ºÅÂ, ±èÇö¼ö(Á¶¼±´ëÇб³)