2020 차세대 리소그래피 학술대회

2020 Next Generation Lithography Conference
Nov. 18~19, 2020

Online Conference

Full Program
PS5
Lasers for Lithography
PS5-1
20
나노초 레이저 간섭 리소그래피를 위한 Yb:YAG 레이저의 펄스 출력 안정화
박영인, 장정현, 김성수, 장명재, 박성태, 김현수(조선대학교)
PS5-2
18
마이크로/나노 구조 제조용 극초단 레이저 발진기의 모드 잠금 안정화 영역에 관한 연구 
장정현, 박영인, 김성수, 장명재, 박성태, 김현수(조선대학교)
PS5-3
18
3D 마이크로구조 제작용 나노초 Yb:YAG 펄스 레이저 출력 최적화 연구
김성수, 박영인, 장정현, 장명재, 박성태, 김현수(조선대학교)