2020 차세대 리소그래피 학술대회

2020 Next Generation Lithography Conference
Nov. 18~19, 2020

Online Conference

Full Program
PS4
Metrology / Inspection
PS4-1
22
유연 대처 패턴 조사 현미경을 이용한 3차원 형상 측정 기술
정효빈, 주기남(조선대학교)
PS4-2
22
광학계 측정을 위한 단일 영상 편광 분산 간섭계 Single shot polarized spectrally-resolved interferometry for optical testing
박효미, 주기남(조선대학교)
PS4-3
20
단일 영상 분광 타원계측기 기반 다층 박막 분석 기술 연구
권의혁, 김진섭, 주기남(조선대학교)
PS4-4
7
Calibration of spot array inspection system of digital maskless lithography with spatially variant deconvolution 
고윤혁, 이창민, 한재원(연세대학교)
PS4-5
5
대형 평면 반사경 측정을 위한 이중 정합 측정법
김고은(과학기술연합대학원대학교), 양호순(한국표준과학연구원)
PS4-6
7
다층 기판의 전체 두께 측정을 위한 광간섭계 개발
배재석(과학기술연합대학원대학교), 박정재, 진종한(한국표준과학연구원)
PS4-7
10
미세 패턴의 정밀 삼차원 측정을 위한 광학 측정법 개발
안흘비(과학기술연합대학원대학교), 박정재, 진종한(한국표준과학연구원)
PS4-8
5
일체형 편광간섭모듈 기반 실시간 분광타원편광계의 calibration 방법 연구
최석현(전북대학교/한국표준과학연구원), 김대석(전북대학교), 조용재, 제갈원(한국표준과학연구원)
PS4-9
4
멀티 전자빔 시스템을 위한 웨이퍼 스케일 초소형 전자칼럼의 디플렉터 설계 연구
이영복, 김형우, 김대욱, 안승준, 오태식, 김호섭(선문대학교)
PS4-10
5
Optimal grid pattern design required for 3D profile measurement using HiLo microscopy
류인건, 김혜상, 김대근(단국대학교)
PS4-11
5
SEM을 이용한 그래핀/MoS2 박막의 두께 측정연구
박병천(한국표준과학연구원), Rakesh Sadanand Sharbidre(Korea Research Institute of Standards and Science), 홍성구(한국표준과학연구원)