2020 차세대 리소그래피 학술대회

PS1

Alternative Lithography / Printed Electronics

PS1-1

나노패턴의 연속적 형성을 위한 틸트나노각인 및 피에조 진동압입 공정개발

한인희, 손현지, 이우승, 박종갑, 김광준, 김민욱, 박재원, 김민규, 연규범, 옥종걸(서울과학기술대학교)

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