2020 차세대 리소그래피 학술대회

2020 Next Generation Lithography Conference
Nov. 18~19, 2020

Online Conference

Full Program
11월 19일 (목요일)
T-XR I
X-ray Source / Instrumentation Applications
좌장 : 강경태(KITECH) 13:00-14:30
온라인 발표장 바로가기
T-XR I-1
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Micro- and nano-focus digital x-ray sources for semiconductor inspections
송윤호, 정진우, 박소라, 김재우, 강준태, 윤기남, 김성준, 양용석, 이명래, 고은솔, 이정웅, 안유정, 연지환, 김성희(ETRI)
T-XR I-2
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Recent research and development in scintillator field for digital X-ray imaging detector
차보경(한국전기연구원)
T-XR I-3
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의료용 X-ray 센서에 적용 가능한 증착형 유기 광센서 개발
안건식, 김채원, 조관현, 배승환(한국생산기술연구원), 차보경(한국전기연구원), 강경태(한국생산기술연구원)