2020 차세대 리소그래피 학술대회

2020 Next Generation Lithography Conference
Nov. 18~19, 2020

Online Conference

Full Program
11월 18일 (수요일)
W-MI III
Metrology / Inspection III
좌장 : 이준호(공주대학교) 16:05-17:20
온라인 발표장 바로가기
W-MI III-1
0
반도체 계측과 검사 난제 해결을 위한 기계 학습 기술 개발
강윤식, 이병호(SK 하이닉스)
W-MI III-2
1
차세대 광 MI를 위한 플렌옵틱 기술 동향
이문섭(한국전자통신연구원)
W-MI III-3
0
플렌옵틱 1.0&2.0 공간-각 분해능 비교 분석
이민지, 한석기, 주지용, 차재덕, 이준호(공주대학교)