2020 차세대 리소그래피 학술대회

2020 Next Generation Lithography Conference
Nov. 18~19, 2020

Online Conference

Full Program
11월 18일 (수요일)
W-PM II
Patterning Material II
좌장 : 김명웅(인하대학교) 14:40-15:55
온라인 발표장 바로가기
W-PM II-1
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Materials and Applications of High-resolution Self-assembly and Transfer Printing
정연식(한국과학기술원)
W-PM II-2
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향상된 굴절률 및 포토패터닝 특성을 지니는 불소화 유-무기 나노 복합소재 개발
이진균, 손종찬(인하대학교)
W-PM II-3
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Zirconium-based photoresists for ultra-fine nanopatterns
황종하, 장지현(울산과학기술원)